深紫外固态激光源前沿装备研制项目，深紫外全固态激光技术

在此基础上，科研人员发明了专利棱镜耦合技术，并率先开发了直接倍频产生深紫外激光的先进技术。在科技部支持下，中科院新启动深紫外仪器设备产业化发展；在财政部的支持下，中科院还启动了深紫外固体激光光源尖端装备研制项目二期。

晶体-光源-装备-科学研究-产业化，深紫外固体激光光源尖端装备研制项目打造了自主创新链，覆盖了从提出原创科学理念到实现应用成果的完整科学价值链，为学科交叉提供基础。原创重大科研装备创新的广泛性、跨度、探索性、工程性积累了经验，也为中科院各业务管理单位的合理分工、深度融合、协同创新提供了典型样本。科学。并全面开展新型深紫外激光科研装备开发和学科应用研究，使我国处于世界领先地位。

1、深紫外固态光源概念

该系列科研装备的研制成功，使我国成为世界上唯一能够制造实用型深紫外全固态激光器的国家。摘要： 报道了一种高重复频率、大单脉冲能量的全固态声光调Q Nd:YAG激光器。与准分子激光器相比，固体激光器工作材料无污染，工作时更安全，工作寿命长，结构紧凑，使用维护方便，成本低，可输出高重复频率、低峰值功率的光脉冲，和光束质量好。

2、深紫外固态激光

在此基础上，科研人员发明了棱镜耦合技术（已获得中国、美国、日本专利），率先开发了直接倍频产生深紫外激光的先进技术，全面开展了新型深紫外激光科研设备。和主题应用研究。种子源在10 kHz的重复频率下获得平均功率为14 W的线偏振脉冲激光输出。种子光经过扩束和整形，然后注入两级平板增益模块进行功率放大。

3、深紫外固态光源概念股

如果你觉得213纳米还是太长，我想应该可以使用拉曼频移激光器。上海光机所20年前申请了专利，213纳米充氢拉曼频率转移到157纳米（无法与浸没光刻竞争的激光）。 （雕刻带）激光器的寿命长达数万小时，成本仅为十分之一。结合科艺宏源的专利以及天津大学青年才俊张旭东的论文，如果不存在工程无法实现的问题，除了极紫外光刻机之外，深紫外光刻机市场将发生一次大洗牌。

4、深紫外固态激光器英诺激光

3月6日，中科院承担的国家重大科研装备研制项目——深紫外固体激光源尖端装备研制项目通过验收，验收委员会对此进行了评价。作为设置者，许祖彦深有体会：五年多来，他满足了仪器研发人员多次改变技术方案的技术要求，解决了八台仪器连接光源的工程难题。 20世纪90年代初，非线性光学晶体相继将Nd:YAG激光波长从近红外扩展到可见光甚至近紫外波长区域。

准分子激光器脉冲宽度较宽，难以研究激发态的快速动态过程。同步辐射光源虽然时间分辨率较快，但装置庞大，研究人员只能将实验移至那里，带来诸多不便。